本氢气纯化设备系统是一种催化型氢气装置,本装置采用特制贵金属钯催化剂,具有较高的活性,能使氢中杂质氧降到5ppm以下,并可长期使用,无须再生处理。装有美国UOP分子筛的干燥器设置为两台,一组在工作吸水,另外一组加热再生,释放吸附的水分,循环使用。
钯膜扩散法,在一定温度下、氢分子在钯膜一侧离解成氢原子,溶于钯并扩散到另一侧,然后结合成分子经一级分离可得到99.99-99.9999%纯度的氢,钯合金纯化工艺,对原料气中的氧、水、重烃、硫化氢,烯烃等的含量要求很严,氧会在钯合金膜表面发生氢氧催化反应,反应产的大量热,使扩散室中钯合金膜局部过热受损,水·硫化氢·烯烃·重烃会使钯合金表面重毒,氢气进入钯膜之前,氧降至0.1PPm,水和其它杂质量降到1PPm以下,钯膜的渗透压力,通常膜前1.4-3.45Mpa,膜后压力448-690Kpa。由于钯属于贵金属、本法只适于较小规模且对氢气纯度要求很高的场合使用。
膜分离法以选择性透过膜为介质,在电位差,压力差,浓度差等推动力下,有选择的透过膜,从而达到分离提纯的目的。
自然界中的氢总是以其化合物如水、碳氢化合物等形式存在,因此,在制备氢时不可避免地带有杂质。氢气中带有杂质,带来了隐患,容易发生爆炸,这要求对氢气原料进行纯化。氢的纯化是指利用物理或化学的方法,除去氢气中杂质的方法总称。随着半导体工业、精细化工和光电产业的发展,半导体生产工艺需要使用99.999%以上的高纯氢。但是工业上各种制氢方法所得到的氢气纯度不高,为满足工业上对各种高纯氢的需求,必须对氢气进行进一步的纯化
分子筛
在半导体生产中,分子筛是氢气等气体净化过程中常用的一种净化剂,它不仅能有效地除去氢气中的水份.而且还能除去氧及其它有害的杂质.那么分子筛为什么能起净化作用呢?我们知道,分子筛是一种人工合成的泡沸石,它是一种具有微孔结构的晶体,泡沸石的内部含有大量水,当加热到一定温度时水份脱去,脱水后的泡沸石产生许多肉眼看不见的大小相同的孔洞,它具有很强的吸附能力,能把小于孔洞的分子吸进孔内,把大于孔洞的分子挡在孔外,从而使某些大小不同的分子分开,即把大小不同的分子过了筛。由于有这种筛分分子的作用,所以叫做分子筛.当然分子筛和一般的筛子不同,它本身是粉末状的物质用粘合剂使它塑成小球或小圆柱体等各种形状,当气体通过它时,可使不同大小的气体分子得到分离
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