氩气回收 产量大 耗能低

氩气回收带提纯后的氩气纯度纯度达到99.999%以上，保证氩气的质量稳定可靠。

本公司对于氩气回收行业已经钻研多年，有大量案例和成熟技术体系配套，能够合理的处理各种现场工况的应用，同时也和国内各大高校、研究所建立起来技术合作等战略关系，使技术方案越来越完善和优化，保证客户方案的效率和质量。

单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置，该方法是：先对来自单晶炉回收的氩气进行粗除油，再经压缩冷却后高精度除油除尘；接着通过高温催化反应使甲烷等烃类和一氧化碳同氧气反应生成水和二氧化碳，催化反应中保证氧气过量；再通过冷却后在催化剂作用下使过量氧气同加入的反应生成水，经过两次催化反应之后的氩气经过常温吸附单元以便吸附水和二氧化碳；将上述氩气冷却后送入低温精馏塔，使氩气与氮气和产生精馏分离，得到纯液氩，再经复热后得到纯氩产品；所述的装置主要包括油过滤器、高温催化氧化一氧化碳和甲烷等烃类的催化反应器、常温加氢除氧催化反应器、常温吸附二氧化碳和水的常温吸附单元、低温精馏分离和氮气的低温精馏塔，它具有氩气回收率高，回收氩气纯度高，氧气含量低，回收纯化能耗低等特点。