氩气回收 全系列全规格

苏州华德公司是专业从事氩气回收系统研发、生产、销售与服务的**企业。公司拥有“氦氩气回收纯化系统”等多项。公司长期致力于高压气源系统集成、惰性稀有气体回收、测试控制系统集成、气体工程检测的数据采集、分析处理、综合应用的技术研究及服务。

利用氩气的多晶硅铸定炉联机系统及其生产工艺，解决了现有的多晶硅铸锭炉在生产过程中存在生产成本高，污染环境严重和电力消耗大的问题。包括多台多晶硅铸定炉（1）和气站氩气管路（18），多晶硅铸定炉（1）均与共用的联机真空泵（8）连通，联机真空泵（8）通过氩气回收缓冲罐（10）、缓冲阀（11）、氩气净化单元（12）、增压泵（13）与净化氩气储气罐（14）连通，净化氩气储气罐（14）与回用氩气总管路（16）连通，回用氩气支管路（19）与多晶硅铸定炉（1）上设置的质量流量控制器（4）的输入口连通。

拉晶后氩气的回收方法为:将拉晶后的不纯氩气升压,随后在反应装置中使氩气所中含可燃性成分与氧气或空气反应转变为二氧化碳和水,混合气冷却后送入苛性钠洗涤塔脱除二氧化碳,并在吸附塔中脱水,随后使氩气中残存的氧气与反应变成水,冷却后送入吸附塔脱水,在热交换器中与使用前的高纯液氩热交换,冷却后在蒸馏塔中深冷液化提纯到99.999%